火花机加工的精度取决于：表面粗糙度和尺寸公差两项工艺指标。
火花机加工的表面粗糙度可以分为：底面粗糙度和侧面粗糙度；同一放电规准加工出来的侧面粗糙度因为有二次放电的修光作用，因此往往要好过底面粗糙度。若要获得更好的侧面粗糙度，可以采用平动头和数控摇动工艺来修光。
依速力火花机
火花机加工中影响表面粗糙度的因素有：
表面粗糙度值随脉冲宽度增大而增大；
表面粗糙度值随峰值电流的增大而增大；
工件材料对加工表面粗糙度也有影响；
电极材料及自身粗糙度情况也极大地影响工件的加工表面粗糙度；
加工速度和表面粗糙度之间存在着很大的矛盾（需提高加工速度时，要相应增大电流，表面粗糙度值增大；需较好的表面质量时，要相应减小电流，加工速度会变慢）；
异常放电现象（如二次放电、烧弧、积碳等）将降低表面粗糙度（即粗糙度值变大），而表面的变质层也会影响工件的表面粗糙度；
击穿电压、工作液对表面粗糙度有不同程度的影响。
脉宽较大时，峰值电流对表面粗糙度影响较大；脉宽较小时，脉宽对表面粗糙度影响较大。因此，在粗加工时，为提高生产率以增大脉宽和减小间隔为主；在精加工时，一般以减小脉冲宽度来降低表面粗糙度值；以达到表面粗糙度要求。
尺寸公差取决于：电极的好坏、工件定位、工作液温度和加工参数等因素。
火花机型腔加工常用的电极材料主要有：紫铜、石墨、钨铜和银钨合金等。
电极精度不应低于工件精度，制造公差通常取工件公差的1/2左右。
电极表面粗糙度与工件加工要求表面粗糙度相等。
电极形状精度不低于工件型腔精度要求，在长度方向要防止变形，同时要注意凹模圆角要求。
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